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微系统实验室
发布人:施安峰  发布时间:2019-11-27   浏览次数:122

      工程与材料科学实验中心微系统实验室自建成开放至今已历16年,设备总值1570万,其中50万元以上13台套,2019年对外服务达13000小时。本实验室坚持两个主要的服务方向,一是提供微结构加工平台,包括常用的光刻设备、薄膜制备设备、硅基和非硅基的加工设备、飞秒激光加工设备等;另一方面是性能测试平台,包括微纳形貌特征检测设备、微纳米尺度振动和力学特性检测设备、微流控以及与生命科学交叉相关的观察、检测设备等等。

实验室现拥有面积约300平方米的洁净室(包括千级光刻和化学区,万级的微纳加工、激光加工区和十万级的测量检测区)。侧重于微米尺度结构研究的支撑和服务,包括紫外光刻硅工艺的微米器件及系统、生物微机电系统、基于压电陶瓷的微系统设计、飞秒激光微纳米制造技术、扫描探针显微镜测量及其标准化。

实验室联系方式:朱老师  0551-63601478/63607405-1


                       工艺能力                                             运行模式

    



实验室仪器设备一览


活细胞成像系统

型号: Leica-Dmi8/DFC9000GT/ING2-WSKM-SET/LAS

厂商:德国 Leica公司

紫外皮秒激光切割机

型号:LSP30

厂商:武汉华工激光工程有限责任公司

高分辨率双面对准曝光机

型号:ABM/6/350/NUV/DCCD/BSIR/M

厂商:美国ABM公司

等离子体增强型化学气相沉积

型号:PD-220

厂商:日本Samco公司

磁控溅射台

型号:SP-SC4-A00

厂商:矽碁科技股份有限公司(台湾


多功能磁增强反应离子刻蚀机

型号:ME-3A

厂商:中国科学院微电子

氧化/扩散炉

型号:M5111-2/VM

厂商:中国电子科技集团公司

光学外差微振动位移测量仪

型号:MLD-221D

厂商:日本NEOARK公司

仪器名称:离子束刻蚀机

型号:M431-6/UM

厂商:中国电子科技集团公司

台阶仪

型号:XP-1

厂商:美国Ambios Technology, Inc

原子力显微镜

型号:MFP-3D-Origin.

厂商:英国Oxford仪器公司

光学轮廓仪:

型号:Contour GT-K

厂商:德国Bruker公司

扫描电子显微镜

型号:EVO18.

厂商:德国 Zeiss仪器公司

CO2临界点干燥仪

厂商:奥地利Leica科技公司

型号:EM CPD300

飞秒激光加工系统

型号:Chameleon Vision-S /Legend Elite F HE-1K.

厂商:美国Coherent公司



 
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