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光学外差微振动位移测量仪
发布人:施安峰  发布时间:2019-12-12   浏览次数:57

型号:MLD-221D
厂商:日本NEOARK公司


设备参数:
    光源波长:632.8nm
    最小束径:垂直振动(Z向)10μm
                        水平振动(X向)15μm
    测量频率范围:DC—1.5MHz
    工作台移动范围20mm,最小步距10μm
    位移测量范围(Z 轴):± 32μm@1nm 分辨率
                                          ± 320μm@10nm 分辨率

附件:锁相放大器
    频率范围: 1mHz to 100kHz
    相位稳定性: 0.01°/°C
    增益稳定性: ±100ppm/°C
    最小时间常数: 10μs


主要用途:

    该设备可用于测量特征尺寸只有数微米的微器件上的不同点的纳米级振动和位移信号,并给出不同点之间的相位关系,从而获知微器件整体振动模态。

 
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