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离子束刻蚀机
发布人:施安峰  发布时间:2019-12-12   浏览次数:81

型号:M431-6/UM(真空及控制系统)
厂商:中国电子科技集团公司第四十八研究所


设备参数:
  (1)采用011DC-PKG ASSY“Veeco”离子源,离子束直径11cm,最大束流350mA,束流能量50-1500eV。Ar工作气体,热解石墨双栅极配置,等离子桥中和器进行束流中和;
  (2)样品台水冷且可实现旋转和倾斜,样品最大尺寸φ100mm,工艺过程中表面温度低于100℃,旋转0-9rpm,倾斜0-90°;刻蚀距离:150mm-160nm;
  (3)系统极限真空度≤10-4Pa,腔体真空度5×10-4Pa;离子束工作真空度约5×10-4Pa;到达本底真空时间≤30min;
  (4)离子源电源:由阴极、阳极、屏栅、加速栅、中和及耦合留个??樽槌傻娜远楹系缭?。


主要用途:

    该设备采用物理刻蚀的方式,经过电场加速的离子束对任何材料实现各向异性的刻蚀,并可依倾角不同调整侧壁形貌和减少被溅射材料的再沉积污染。

 
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